精密测量与控制理论、超精密机械设计与制造、电子制造工艺及其装备等。
（1）博士，中国矿业大学机械工程学院，2001年获机械设计及理论工学博士学位；
（2）硕士，中国矿业大学信息电子工程学院，1993年获计算机应用工学硕士学位；
（3）学士，北京师范大学无线电电子学系，1983年获无线电电子学理学学士学位。
2004年～至今，清华大学精仪系制造所任教；
2001年～2004年，清华大学制造所博士后；
1999年～2001年，清华大学制造所访问学者；
1983年～2004年，中国矿业大学任教。
从事超精密机械与控制等方面研究，承担973、863、国家自然基金项目10余项，现为国家重大专项项目、重点基础研究发展计划（973计划）课题负责人。共发表论文80余篇，其中SCI、EI收录40余篇，引用110余次，申请国家发明专利22项，美国专利2项。
（1） Yu Zhu,Songtao Jia,Yaying Chen,Guang Li. Electrorheological damper for the oltra-precision air bearing stage. Frontiers of Mechanical Engineering in China,2008.6,3（2）:158-163.
（2） Wei peng,Zhu yu,Tan Qiaofeng,Duan Guanghong,Gao Guohua. Discussion on the radial superresolution of the two-photon microfabrication. Key Engineering Materials,2007,329(): 601-605.
（3） Zhang Ming,Zhu Yu,Ren Gexue,Duan Guanghong. Finite element and experimental analysis on micro-vibration of ultra precision air bearing linear motion stage and methods of its elimination. onference MNC 2007,p83-87.
（4） Cheng Jia,Zhu Yu,Duan Guanghong,Chen Yangying. Three-dimensional discharge simulation of inductively coupled plasma etcher. Proceedings of the International Conference on Integration and Commercialization of Micro and Nanosystems 2007,p795-800.
（5） Chen Yaying,Zhu Yu,Duan Guanghong,Cheng Jia. STUDY ON MICRO STRAIN ELECTRORHEOLOGICAL DAMPER MODEL. Proceedings of MNC2007: International Conference on ntegration and Commercialization of Micro and Nano-systems Sanya,Hainan China,p1017-1022.
（6） Xu Dengfeng,Zhu Yu. Dynamic Analysis of A Gas Bearing Support Guide Way Through Simplified Beam Model. IET Conference Publications,n 524,International Technology and Innovation Conference 2006,ITIC 2006,2006,p 1184-1187.
（7） Zhang Ming,Zhu Yu,Ren Gexue,Duan Guanghong. Finite element and experimental modal analyses of ultra-precision air bearing linear motion stage. IET Conference Publications,n 524,International Technology and Innovation Conference 2006,ITIC 2006,2006,p 1721-1725.
（8） Cheng Jia,Zhu Yu. Influence of configurations of chamber and coil on uniformity of plasma distribution for inductively coupled plasma etcher. IET Conference Publications,n 524,International Technology and Innovation Conference 2006,ITIC 2006,2006,p 1113-1117.
（9） Wei.Peng,Zhu Yu,TAN.Qiaofeng and DUAN Guanghong. Discussion on the improved diffractive superresolution element of the two-photon microfabrication. IET Conference Publications,n 524,International Technology and Innovation Conference 2006,ITIC 2006,2006,p 1505-1508.
（10） Gao Guohua,Zhu Yu,Duan Guanghong. High Precision Formation for Two-Photon 3D Microfabrication. 2006 IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON ROBOTICS AND BIOMIMETICS,VOLS 1-3 : 1571-1575 2006.
（11） Cao Jiayong,Zhu Yu,et al．A novel synchronous permanent magnet planar motor and its model for control applications. IEEE TRANSACTIONS ON MAGNETICS,JUN 2005,41 （6）: 2156-2163.
（12） Cao Jiayong,Zhu Yu,et al．Analysis and Comparison of 2-D Permanent Magnet Arrays for Planar Motor. IEEE Transactions on Magnetics,2004,40（6）：3490-3494.
（13）朱煜，孟飚，等．并联机构组合式自动建模研究.《北京航空航天大学学报》，2003.9,29（9）:774-778.
（14）朱煜，汪劲松，等。并联机构拓扑结构的字符串描述及其应用.《中国机械工程》，2003.6,14（12）:991-995.
（15）朱煜，汪劲松，等．并联机床数字化创新设计研究.《计算机集成制造系统CIMS》，2003.1,9（1）:61-68.
（1） “十五”“十一五”某领域国家重大专项咨询组成员，专家组副组长；
（2） 《半导体学报》杂志常务理事；
（3）北京市电子制造装备行业协会常务理事；
（4）机械工程学会高级会员。
