激光干涉仪是利用激光干涉原理来测量物体的位置、形状、表面形貌等参数的一种精密测量仪器。其工作原理基于波的干涉理论，利用激光的单色、发散性低、相干性大等特点，将激光分为两束，一束作为参考光，另一束射向被测物体表面，经反射后再归于干涉仪，两束光会干涉，形成干涉条纹。通过检测干涉条纹的变化来推算物体的形状和位置。
具体来说，激光干涉仪一般由稳定的激光和基座、分束器、合束器、反射镜和接收器组成。在测量时，利用分束器将激光分成两束，一束直接作为参考光线，另一束射向被测物体表面后发生反射，与参考光线再次合成。当两束光线相遇时，如果它们的频率、振幅、相位都一致，就会互相加强形成明条纹，反之则会发生抵消，形成暗条纹。干涉条纹的位置和数量与测量物体的形状和位置有关，因此可以通过测量干涉条纹的变化来推算出被测物体的信息。
激光干涉仪具有高灵敏度、高精度、高稳定性等优点，应用于制造和检测领域，特别是在精密制造和检测领域中广泛应用。例如，它可以用于测量光学元件的表面形貌和光学质量，了解光学元件制造过程中的误差和缺陷；也可以用于测量工件的平整度、平面度、平行度、圆度等形状参数；还可以用于测量液体流量、气体流速等流动的参数。
